在半导体行业中,先进且优秀的分析技术对于整个产业而言是一种“能量”加持。其中英格尔离子质谱技术是一项针对半导体实行的表面分析技术,在帮助企业获得纵深分析讯息的同时还可了解空间分辨率。英格尔检测擅长多种半导体表面先进制程研究技术开发项目,在微区分析领域掌握丰富的半导体化学信息,为企业提供专业的半导体表面有机材料分析与无机材料分析。
英格尔专家表示,半导体的关键制程要经过漫长的研发及验证过程,加速先进制程的进展,需要更精确与准确的材料分析。特别是半导体制程已进入纳米的技术节点,为了持续突破摩尔定律,半导体组件持续在结构及材料上创新。
近年来热门的高频及高功率电子组件,如化合物半导体(Compound Semiconductor)的氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC),第四代半导体的氧化镓(Ga2O3),这些组件及制程的研发都非常依赖高阶的先进分析技术。英格尔检测结构分析常用到的仪器包括观察细微结构的扫描式电子显微镜(SEM,Scanning Electron Microscope)、观察样品横截面的聚焦式离子束显微镜,或是具有原子分辨率的穿透式电子显微镜等;而特别针对半导体制程掺杂元素的离子浓度分析。
英格尔成份分析的仪器种类十分全面,依照设备的分析原理及其擅长的领域来划分,首先是讲究侦测灵敏度的仪器,再则是强调空间分辨率的仪器,能够进行微米级(mm, 10-6m)的微区分析是其一大优势。但若想单靠一种分析技术面面俱到地同时兼顾灵敏度与分辨率,甚至还要分析出是哪一种化合物或有机物的成份并不容易,在很多情况下,需要靠各种仪器接力合作,才能完成未知物成份的定性与定量分析。
半导体分析技术中英格尔离子质谱表面分析技术尤为出色,英格尔分析实验室通过TOF-SIMS这种表面分析技术,可为企业提供分辨率及灵敏度等相关需求。在半导体成为社会必备材料的今天,英格尔半导体分析实验室拥有先进的封装制程改善与开发资源,可为企业提供一站式半导体表面分析技术。
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